1、磨平，使用320grit砂纸水冷，磨制2~3分钟，去除切割产生的损伤层，并使样品表面平坦。使用320grit SiC砂纸，水冷，转速240 RPM，同向转动*，压力：27N（6lbs）/每个样品，直到样品磨平为止。
注：去除切割损伤层是打磨的基础任务，如果去除不净，直接后果是观察到的现象可能为假象。
2、粗抛光，把9μm的metaDI金刚石抛光膏预先涂抹在带孔的TEXMET抛光布上，使用蒸馏水做为冷却润滑剂，抛光10~15分钟。粗抛光过程：9μm metaDI金刚石抛光液+ metaDI抛光润滑剂，使用ULTRA-PAD抛光表面，转速120 RPM, 反向转动**，压力：27N（6lbs）/每个样品，时间10min。
3、最终抛光，使用MICROCLOTH或者MASTERTEX抛光布，添加MASTERMET二氧化硅悬浮抛光液，抛光10~15分钟。最终抛光过程：在MICROCLOTH抛光表面上，使用MASTERMET 二氧化硅抛光液，转速120 RPM, 反向转动，压力：27N（6lbs）/每个样品，时间10min。 注：在抛光过程中，样品需要定时转动方向，大多数金属合金中存在硬质相，如果不转动方向，抛光的样品在硬质相上会有黑色的“长尾巴”，影响金相质量，解决“长尾巴”问题的关键在于转动样品的方向。每次可以转90度或180度。
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